Турбомолекулярный насос оснащен керамическим подшипником, который имеет самоуплотняющуюся конструкцию, состоящую из внутреннего кольца подшипника, наружного кольца подшипника, шариков, держателей, уплотняющей торцевой крышки и консистентной смазки.
Опорная конструкция вала, применяемая к керамическому подшипнику, смазываемому консистентной смазкой, имеет преимущества простой конструкции, бесплатного технического обслуживания и низкого энергопотребления. Таким образом, молекулярные насосы можно устанавливать в любом положении, и их необходимо обслуживать только один раз в 3-5 лет при нормальных условиях эксплуатации.
Особенности:
Турбомолекулярный насос с консистентной смазкой обладает компактной конструкцией, прост в использовании, меньше загрязняет систему, имеет широкий спектр применения и стабильную работу.
Области применения:
1. Солнечные батареи
2. Low-E стекло
3. Стекло ИТО
4. Акселераторы
5. Плазменные технологии
6. Изготовление ламп
7. Обнаружение утечек вакуума
Технические данные
Фланец (на входе) | DN200 CF DN200 ISO-K |
Фланец (на выходе) KF | DN40 |
Скорость откачки (л/с) |
N2: 1300 |
He: 1000 | |
H2: 480 | |
Ar: 1250 | |
Степень сжатия |
N2: 109 |
He: 104 | |
H2: 103 | |
Ar: 109 | |
Предельное давление (Па) | CF: 6×10-7 ISO-K: 6×10-6 |
Макс. непрерывное форвакуумное давление (Па) | 240 |
Макс. форвакуумное давление (Па) | N2: 600 |
Производительность по газу (куб. см) | N2: 2500 He: 1850 H2: 1450 Ar: 950 |
Скорость вращения (об/мин) | 24 000 |
Время запуска (мин) | ≤9 |
Тип охлаждения | Вода/воздух (опционально) |
Расход охлаждающей жидкости (л/мин) | ≥1 |
Температура охлаждающей жидкости (℃) | ≤25 |
Напряжение питания (V AC) | DC24/AC220 |
Макс. потребляемая мощность (Вт) | ≤500 |
Модель контроллера | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
Форвакуумный насос (л/с) | 15 |
Вес (кг) | 33(LF) 35(CF) |