FF-160/620E — это vмасляные высокопроизводительные турбомолекулярные насосы, обладающие преимуществами компактной конструкции, удобной эксплуатации, гибкой установки, широкого диапазона применения и стабильной производительности.
Преимущества:
Турбомолекулярные насосы KYKY FF-160/620E обладают хорошей производительностью в неблагоприятных условиях окружающей среды (высокая температура, пыль и т. д.), стабильной производительностью, длительным сроком службы, а также простотой обслуживания и удобством эксплуатации.
Применение:
Основные области применения: обнаружение промышленных утечек, PVD, CVD, ионная имплантация, производство электронных компонентов вакуумного типа, стекло с низким коэффициентом излучения, стекло ITO, оптические покрытия, солнечные батареи, электронно-лучевая сварка, вакуумные печи и другие отрасли промышленности.
Технические параметры
Фланец (на входе) | DN150 CF/ISO-K |
Фланец (на выходе) KF | DN40 KF |
Скорость откачки (л/с) | N2: 600 |
He: 380 | |
H2: 240 | |
Ar: 580 | |
Степень сжатия | N2: 109 |
He: 105 | |
H2: 104 | |
Ar: 109 | |
Предельное давление (Па) | CF: 6*10-8 ISO-K: 6*10-7 |
Макс. постоянное давление на входе (Па) | 240 |
Макс. давление предварительной ступени (Па) | N2:350 |
Макс. пропускная способность (см3) | N2: 1 200 |
He: 880 | |
H2: 700 | |
Ar: 450 | |
Скорость вращения (об/мин) | 36 000 |
Время запуска (мин) | ≤9 |
Тип охлаждения | водав/воздух |
Расход охлаждающей жидкости | ≥1 |
Температура охлаждающей жидкости (℃) | ≤25 |
Напряжение питания (V AC) | 220±22 |
Макс. потребляемая мощность (Вт) | ≤500 |
Модель контроллера | TCP-II с 2,5-метровым кабелем |
Вес (кг, нетто) | 29 |