Турбомолекулярный насос оснащен керамическим подшипником, который имеет самоуплотняющуюся конструкцию, состоящую из внутреннего кольца подшипника, наружного кольца подшипника, шариков, держателей, уплотняющей торцевой крышки и консистентной смазки.
Опорная конструкция вала, применяемая к керамическому подшипнику, смазываемому консистентной смазкой, имеет преимущества простой конструкции, бесплатного технического обслуживания и низкого энергопотребления. Таким образом, молекулярные насосы можно устанавливать в любом положении, и их необходимо обслуживать только один раз в 3-5 лет при нормальных условиях эксплуатации.
Особенности:
1. Стабильная работа
2. Простота в эксплуатации
3. Компактная конструкция
4. Многократное применение
Области применения:
1. Солнечные батареи
2. Low-E стекло
3. Стекло ИТО
4. Акселераторы
5. Плазменные технологии
6. Изготовление ламп
7. Обнаружение утечек вакуума
Технические данные
Фланец (на входе) | DN100 CF DN100 ISO-K |
Фланец (на выходе) | DN25 |
Скорость откачки (л/с) |
N2: 110 |
He: 100 | |
H2: 50 | |
Ar: 100 | |
Степень сжатия |
N2: 108 |
He: 102 | |
H2: 102 | |
Ar: 108 | |
Предельное давление (Па) | CF: 6×10-7 ISO-K: 6×10-6 |
Макс. непрерывное форвакуумное давление (Па) | 200 |
Макс. форвакуумное давление (Па) | N2: 300 |
Производительность по газу (куб. см) | N2: 300 He: 240 H2: 180 Ar: 110 |
Скорость вращения (об/мин) | 42 300 |
Время запуска (мин) | ≤3 |
Тип охлаждения | Вода/воздух (воздушное охлаждение при температуре окружающей среды 5-32°C) |
Расход охлаждающей жидкости (л/мин) | ≥1 |
Температура охлаждающей жидкости (℃) | ≤25 |
Напряжение питания (V AC) | 220±22 |
Макс. потребляемая мощность (Вт) | ≤300 |
Модель контроллера | FD-110B |
Форвакуумный насос (л/с) | 2 |
Вес (кг) | 8 |