F-400/3500B — это высокопроизводительные турбонасосы с масляной смазкой, обладающие преимуществами компактной конструкции, удобной эксплуатации, гибкой установки, широкого диапазона применения и стабильной производительности.
Преимущества:
Турбомолекулярные насосы KYKY F-400/3500B обладает хорошей производительностью в неблагоприятных условиях окружающей среды (высокая температура, пыль и т. д.), стабильной производительностью и длительным сроком службы, а также простотой обслуживания и удобством эксплуатации.
Применение:
Основные области применения: обнаружение промышленных утечек, PVD, CVD, ионная имплантация, производство электронных компонентов вакуумного типа, стекло с низким коэффициентом излучения, стекло ITO, оптические покрытия, солнечные батареи, электронно-лучевая сварка, вакуумные печи и другие отрасли промышленности.
Технические параметры
Фланец (на входе) | DN400 ISO-K |
Фланец (на выходе) KF | DN100 |
Скорость откачки (л/с) | N2: 3 500 |
He: 3 200 | |
H2: 1 800 | |
Ar: 3 200 | |
Степень сжатия | N2: 108 |
He: 103 | |
H2: 102 | |
Ar: 108 | |
Предельное давление (Па) | 6*10-6 |
Макс. постоянное давление на входе (Па) | 100 |
Макс. давление предварительной ступени (Па) | N2:300 |
Макс. пропускная способность (см3) | N2: 5 500 |
He: 4 000 | |
H2: 3 200 | |
Ar: 2 100 | |
Скорость вращения (об/мин) | 13 300 |
Время запуска (мин) | ≤18 |
Тип охлаждения | вода |
Расход охлаждающей жидкости | ≥1 |
Температура охлаждающей жидкости (℃) | ≤25 |
Напряжение питания (V AC) | DC24/AC220 |
Макс. потребляемая мощность (Вт) | ≤1 100 |
Модель контроллера | FD-III |
Вес (кг, нетто) | 130 |