Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-320/3001E
Конструкция турбомолекулярного насоса KYKY CXF-320/3001E отличается динамическим откликом и своевременной регулировкой, высокоскоростным валом и надежностью в работе.
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе — это насосы, вал которых поддерживается за счёт силы магнитного поля.
Серия CXF-320/3001 представляет собой оборудование для создания вакуума, разработанное компанией KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленных гальванопокрытий и научных приборов.
Преимущества:
1. Отсутствие трения во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко добиться чистого высокого и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов
3. Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени
4. Высокая безопасность и долгий срок службы за счет защиты подшипников прецизионными керамическими шариками
5. Функция выработки электроэнергии в случае внезапного отключения питания
6. Отсутствие трения
7. Отсутствие загрязнения
8. Не требует технического обслуживания
9. Низкий уровень вибрации
10. Монтаж в любом положении
Применение
Серия турбомолекулярных насосов KYKY CXF-320/3001E на магнитном подвесе в основном применяются в областях производства полупроводников, промышленных гальванопокрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, которые легко коагулируются при нормальной температуре.
Технические данные
| Фланец (на входе) | ISO-F 320 |
| Фланец (на выходе) | KF 40 |
| Скорость откачки (л/с) | N2: 3 000 |
| He: 2 300 | |
| H2: 1 100 | |
| Ar: 2 750 | |
| Степень сжатия | N2: 1*108 |
| He: 1*104 | |
| H2: 1*103 | |
| Ar: 1*108 | |
| Предельный вакуум (Па) | ≤5×10-7 |
| Частота вращения (об/мин) | 24 000 |
| Время запуска (мин) | ≤12 |
| VIB (мм) | <0,05 |
| Скорость откачки форвакуумного насоса (л/с) | 15 |
| Ориентация при монтаже | любая |
| Способ охлаждения | вода |
| Вес (с контроллером) кг | 75 |
Технология управления магнитным подшипником: 5-осевой магнитный подшипник, основанный на передовой международной теории управления, гарантируют такие существенные преимущества высокоскоростного вращения вала, как стабильная левитация и надежная эксплуатация.
Технология управления приводом двигателя: высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающая максимальную энергию двигателя и автоматическую компенсацию скорости вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.
Технология изготовления ротора из композитного углеродного волокна: изготовлен из сплава высокопрочного алюминия и легкого углеродного волокна. Характеризуется значительным снижением веса и значительным повышением прочности, так что достигаются цели высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.
Технология антикоррозийной защиты: поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, чтобы поверхности могли противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников, в течение длительного времени. Кроме того, валы насосов полностью заполнены инертными газами, такими как N2, для защиты низковакуумных частей насосов, так что реализуется функция стабильного отвода коррозионно-активных газов в течение длительного времени.
Система контроля температуры нагрева: оснащена электронагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать охлаждение воды, воздушно-костный нагрев, электронагрев и тепло, переносимое защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на определенном уровне в течение длительного времени. Некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, поэтому могут быть выполнены требования для специального процесса, например травления.
Мегагрупп.ру