Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2301E

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе — это насосы, вал которых поддерживается за счёт силы магнитного поля, отвечают прикладным требованиям в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.

Технологии

Технология управления магнитным подшипником: 5-осевой магнитный подшипник, основанный на передовой международной теории управления, гарантируют такие существенные преимущества высокоскоростного вращения вала, как стабильная левитация и надежная эксплуатация.

Технология управления приводом двигателя: высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающая максимальную энергию двигателя и автоматическую компенсацию скорости вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.

Технология изготовления ротора из композитного углеродного волокна: изготовлен из сплава высокопрочного алюминия и легкого углеродного волокна. Характеризуется значительным снижением веса и значительным повышением прочности, так что достигаются цели высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.

Технология антикоррозийной защиты: поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, чтобы поверхности могли противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников, в течение длительного времени. Кроме того, валы насосов полностью заполнены инертными газами, такими как N2, для защиты низковакуумных частей насосов, так что реализуется функция стабильного отвода коррозионно-активных газов в течение длительного времени.

Система контроля температуры нагрева: оснащена электронагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать охлаждение воды, воздушно-костный нагрев, электронагрев и тепло, переносимое защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на определенном уровне в течение длительного времени. Некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, поэтому могут быть выполнены требования для специального процесса, например травления.

Применение
Серия турбомолекулярных насосов KYKY CXF-250/2301E на магнитном подвесе применяется в извлечении агрессивных газов, образующихся при травлении, газов, легко коагулируемых при нормальной температуре, в областях производства полупроводников, промышленном нанесении покрытий и научных приборов.

Технические данные