Производство и продажа вакуумного оборудования
г. Москва, улица Электрозаводская д. 24
Пн-Пт: 9:00-18:00
Обратная связь
Главная\Магазин\Турбомолекулярные насосы\На магнитном подвесе\Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе CXF-200/1401E

Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-200/1401E

Цена по запросу
Оставить заявку
• Производительность: 1 400 л/с
• Степень сжатия: 1*E7
• Предельный вакуум: ≤2×E-6 Па
• Частота вращения: 33 000 об/мин

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе — это насосы, вал которых поддерживается за счёт силы магнитного поля, отвечают прикладным требованиям в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.

Технологии

Технология управления магнитным подшипником: 5-осевой магнитный подшипник, основанный на передовой международной теории управления, гарантируют такие существенные преимущества высокоскоростного вращения вала, как стабильная левитация и надежная эксплуатация.

Технология управления приводом двигателя: высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающая максимальную энергию двигателя и автоматическую компенсацию скорости вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.

Технология изготовления ротора из композитного углеродного волокна: изготовлен из сплава высокопрочного алюминия и легкого углеродного волокна. Характеризуется значительным снижением веса и значительным повышением прочности, так что достигаются цели высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.

Технология антикоррозийной защиты: поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, чтобы поверхности могли противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников, в течение длительного времени. Кроме того, валы насосов полностью заполнены инертными газами, такими как N2, для защиты низковакуумных частей насосов, так что реализуется функция стабильного отвода коррозионно-активных газов в течение длительного времени.

Система контроля температуры нагрева: оснащена электронагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать охлаждение воды, воздушно-костный нагрев, электронагрев и тепло, переносимое защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на определенном уровне в течение длительного времени. Некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, поэтому могут быть выполнены требования для специального процесса, например травления.

Преимущества:
1. Отсутствие трения во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко добиться чистого высокого и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов
3. Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени
4. Высокая безопасность и долгий срок службы за счет защиты подшипников прецизионными керамическими шариками
5. Функция выработки электроэнергии в случае внезапного отключения питания

Применение
Серия турбомолекулярных насосов KYKY CXF-200/1401E на магнитном подвесе в основном применяются в областях производства полупроводников, промышленных гальванопокрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, которые легко коагулируются при нормальной температуре.

Технические данные

Фланец (на входе) DN200 ISO F
     DN200 ISO CF     
Фланец (на выходе) KF 40

Скорость откачки (л/с)

N2: 1 400
He: 880
H2: 560
Ar: 1 360

Степень сжатия

N2: 1*107
He: 1*104
H2: 1*103
Ar: 1*107
Предельный вакуум (Па) ≤2×10-6
Частота вращения (об/мин) 33 000
Время запуска (мин) ≤6
VIB (мм) <0,05
Скорость откачки форвакуумного насоса (л/с) 15
Ориентация при монтаже любая
Способ охлаждения вода
Вес (с контроллером) кг 51
Оставить комментарий
Заполните обязательные поля *.
Я согласен(на) на обработку моих персональных данных. Подробнее
Данный интернет-сайт носит исключительно информационный характер и не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса РФ.
Заказать звонок
это поле обязательно для заполнения
Ваше имя:*
это поле обязательно для заполнения
Телефон:*
это поле обязательно для заполнения
Галочка*
Спасибо! Форма отправлена