Высоковакуумный откачной пост представляет собой систему получения вакуума, в основном состоящая из молекулярного и механического насосов в соответствии с вакуумными знаниями и принципом. Скоростью откачки откачного поста FJ-80 составляет 62 л/с. Скорость откачки форвакуумных масляных насосов составляет 0,5 л/с, а безмасляных 0,2 л. Данные продукты широко применяются в области анализа поверхности, ускорительной технологии, плазменной технологии, исследовательских лабораториях, производстве электровакуумных устройств и других вакуумных областях.
Конфигурация:
Рама: переносной блок
Молекулярный насос: FF-63/80
Модуль управления молекулярным насосом: TC-100
Форвакуумный насос: GHD-031B (масляный насос)
KNF 813.3 ANF (сухой насос)
Вакуумметр: WPC400 (внешний, опционально)
Электромагнитный запорный клапан: AirTAC
Переходная камера: DN63/CF35/KF40 (настраиваемая)
Другие приспособления: гофрированная труба, обруч, болты, запорный клапан, уплотнительное кольцо из бескислородной меди и т.д.
Технические параметры
Фланец (на входе) CF | 63CF |
Фланец (на выходе) ISO-KF | DN25 |
Скорость откачки (л/с) | N2: 62 |
He: 55 | |
H2: 34 | |
Ar: 65 | |
Степень сжатия | N2: 109 |
He: 105 | |
H2: 104 | |
Ar: 109 | |
Предельное давление (Па) | <=2*10-6 |
Рекомендуемое форвакуумное давление (Па) | <50 |
Модель форвакуумного насоса | масляный GHD-031B (безмасляный опционально) |
Тип охлаждения | воздушное |
Входное напряжение/частота (В/Гц) | 220±22/50 |
Температура окружающей среды ℃ (воздушное охлаждение) |
от +5 ℃ до +32 ℃ |
Способ установки | Вертикально |
Модель контроллера | TCP-100 |
Размеры Д*Ш*В (мм) | 400×300×260 |
Вес (кг) | 21 |