СЭМ EM8100F представляет собой усовершенстованную версию EM8000 с модернизированным ускорением трубки E-Beam, изменяющимся вакуумным режимом, возможностью наблюдения за непроводящим образцом при низком напряжении без распыления, простой и понятной системой управления. Также это первый сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FEG-SEM) с разрешением 1 нм (30 кВ). FEG-SEM обеспечивает изображение с самым высоким разрешением по сравнению с обычным СЭМ, гарантируя высокую яркость, четкость изображения и стабильный ток луча.
Как правило FEG-SEM представляют собой большие напольные системы, но та же технология высокого разрешения теперь доступна в гораздо более удобном настольном приборе: KYKY EM8100F.
Преимущества
- Катод Шоттки, высокая яркость, хорошая монохромность, маленькое пятно луча, длительный срок службы.
- Ускорение электронно-лучевой трубки, дополнительное ступенчатое замедление
- Стабильный ток луча, низкое рассеивание энергии
- Непроводящие образцы или образцы, чувствительные к электронному лучу, можно наблюдать напрямую, не напыляя проводящую пленку
- Простая и понятная система управления
- Огромный 5-осевой моторизованный столик
- Многоступенчатая высокопроизводительная система линз, коническая линза объектива с низкой аберрацией
Технические параметры
Разрешение | 1 нм @ 30 кВ (SE) |
3 нм @ 1 кВ (SE) | |
2,5 нм @ 30 кВ (BSE) | |
Увеличение | 15x-800 000x |
Ускоряющее напряжение | 0-30 кВ |
Электронная пушка | Катод Шоттки |
Катодный излучатель | монокристалл вольфрама |
Столик | Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик |
Диапазон перемещений |
Х: 0 ~ 150 мм |
Y: 0 ~ 150 мм | |
Z: 0 ~ 60 мм | |
R: 360° | |
Т:-5°~75° | |
Макс. образец | 320 мм |
Размеры (Д*Ш*В) мм | 342*324*320 (размер внутренней камеры) |