Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе – это насосы, вал которых держится за счёт силы магнитного поля. Они используются во многих сферах современного производства: в производстве полупроводников и микросхем, в процессе нанесения покрытий, а также в научных приборах.
Особенности
Энергосбережение: благодаря отсутствию трения и предотвращению потерь тепла при трении, этот продукт потребляет на 30% меньше энергии по сравнению с другими аналогичными изделиями.
Высокая эффективность: длительное время работы без перерывов, большой поток воздуха и высокая скорость откачки.
Гибкость: компактная конструкция позволяет использовать прибор даже в ограниченном пространстве. Его можно установить под любым углом, поэтому он подойдёт для различных конструктивных решений. Богатый набор функций позволяет настроить прибор в соответствии с индивидуальными потребностями клиентов.
Преимущества:
1. Отсутствие трения во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко добиться чистого высокого и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов
3. Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени
4. Высокая безопасность и долгий срок службы за счет защиты подшипников прецизионными керамическими шариками
5. Функция выработки электроэнергии в случае внезапного отключения питания
Технические данные
Фланец (на входе) | DN200 ISO F (стандартная конфигурация) DN200 CF (опционально) DN200 LF (настраиваемый) |
Фланец (на выходе) | KF 40 |
Скорость откачки (л/с) | N2: 1 400 |
He: 1 100 | |
H2: 820 | |
Ar: 1 300 | |
Степень сжатия | N2: 1*108 |
He: 1*104 | |
H2: 1*103 | |
Ar: 1*108 | |
Предельный вакуум (Па) | 1×10-7 (резиновое уплотнение) 1×10-8 (металлическое уплотнение) |
Макс. мгновенный входной поток (sccm) | 1200 |
Впускной фланец защитного газа (опционально) | KF10 |
Рекомендуемый расход защитного газа | 20 |
Максимально допустимая сила магнитного поля | радиальная: 3 осевая: 15 |
Частота вращения (об/мин) | 33 000 |
Время запуска (мин.) | ≤7 |
Время простоя (мин.) | ≤9 |
Способ охлаждения | вода |
Расход охлаждающей жидкости (л/мин) | 2 |
Рекомендуемая температура охлаждающей воды (℃) | 20±5 |
Входное напряжение | 220±10%, 50 Гц |
Вес (с контроллером) кг | 51 |